VP-10S 片式真空等離子清洗機(jī)#等離子清洗技術(shù)
設(shè)備系統(tǒng)PC控制，支持主流多種通訊協(xié)議；
設(shè)備依SEMI安全生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)設(shè)計(jì)生產(chǎn)；
通道設(shè)計(jì)產(chǎn)能高，UPH 400~550pcs；
適用多種產(chǎn)品尺寸及彈夾；
MFC晶圓級(jí)專(zhuān)利設(shè)計(jì)，防止氣體泄漏引發(fā)安全事故；
腔體高密封專(zhuān)利設(shè)計(jì)最高可達(dá)5pa以?xún)?nèi)；
水滴角<30°(與清潔表面材質(zhì)相關(guān))。

VP-10L 在線(xiàn)式真空等離子清洗機(jī)
輸送機(jī)構(gòu)采用電動(dòng)調(diào)幅，寬窄可調(diào)節(jié)；在線(xiàn)式輸送系統(tǒng)，可與前后設(shè)備通訊接駁；
真空腔體采用鋁合金制作而成；
超低溫：溫度低至40度；
全方位表面清洗：異向等離子體可以進(jìn)入超細(xì)狹縫清洗。

AP-3P 在線(xiàn)式常壓等離子清洗機(jī)
活化：大幅提高表面的潤(rùn)濕性能，形成活性的表面；
清洗：去除灰塵和油污，精細(xì)清洗和去靜電；
提高表面的附著能力；
提高表面粘接的可靠性和持久性。